SJ/T 11487-2015 半绝缘半导体晶片电阻率的无接触测量方法
起草单位:信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等
起草人:何秀坤、董彦辉、刘兵 等
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