本标准适用于以真空电子束熔炼的高纯钽锭为原料，通过塑性加工、热处理、机械加工、焊接等方法制造的溅射用钽靶材（以下简称钽靶材）
YS/T 1024-2015 溅射用钽靶材
起草单位：宁夏东方钽业股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司等
起草人：钟景明、李桂鹏、汪凯等
YS/T 1024-2015 溅射用钽靶材
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YS/T 1024-2015标准状态
- 发布于：2015-04-30
- 实施于：2015-10-01
- *非实时更新以实际为准