SJ/T 11516-2015 薄膜晶体管（TFT）用掩模版规范
起草单位：深圳清溢光电股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院
起草人：万承华、张沛、熊启龙 等
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SJ/T 11516-2015标准状态
- 发布于：2015-04-30
- 实施于：2015-10-01
- *非实时更新以实际为准
SJ/T 11516-2015 薄膜晶体管（TFT）用掩模版规范
起草单位：深圳清溢光电股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院
起草人：万承华、张沛、熊启龙 等