本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100nm的异质外延层和硅多晶层的厚度，测量范围为1μm～100μm。
YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
起草单位：南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司
起草人：马林宝、杨帆、葛华等
YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
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YS/T 14-2015标准状态
- 发布于：2015-04-30
- 实施于：2015-10-01
- *非实时更新以实际为准