本标准适用于电子薄膜制造用的各类高纯钴靶。
YS/T 1053-2015 电子薄膜用高纯钴靶材
起草单位：宁波江丰电子材料股份有限公司，有研亿金新材料有限公司
起草人：王学泽、李勇军、郑文翔等
YS/T 1053-2015 电子薄膜用高纯钴靶材
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YS/T 1053-2015标准状态
- 发布于：2015-04-30
- 实施于：2015-10-01
- *非实时更新以实际为准
本标准适用于电子薄膜制造用的各类高纯钴靶。
YS/T 1053-2015 电子薄膜用高纯钴靶材
起草单位：宁波江丰电子材料股份有限公司，有研亿金新材料有限公司
起草人：王学泽、李勇军、郑文翔等