本标准适用于硅外延用三氯氢硅中总碳含量的测定，测定范围为0.00005%～0.005%。
YS/T 1059-2015 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法
起草单位：中锗科技有限公司、昆明冶研新材料股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司等
起草人：刘英杰、郑华荣、柯尊斌等
YS/T 1059-2015 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法
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YS/T 1059-2015标准状态
- 发布于：2015-04-30
- 实施于：2015-10-01
- *非实时更新以实际为准