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YS/T 1068-2015 制备钌靶用钌粉

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YS/T 1068-2015标准状态

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制备钌靶用钌粉简介

本标准适用于制备硬盘及集成电路行业钌系溅射靶材用钌粉(以下简称钌粉)。

YS/T 1068-2015 制备钌靶用钌粉

起草单位:贵研铂业股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院

起草人:谭志龙、郭俊梅、熊晓东等

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