本标准适用于制备硬盘及集成电路行业钌系溅射靶材用钌粉(以下简称钌粉)。
YS/T 1068-2015 制备钌靶用钌粉
起草单位:贵研铂业股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院
起草人:谭志龙、郭俊梅、熊晓东等
上一篇:YS/T 1079-2015 钒铝铁中间合金