YS/T 980-2014 高纯三氧化二镓杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
起草单位：峨嵋半导体材料研究所、南京中锗科技股份有限公司等
起草人：刘爱华、孙平 等
YS/T 980-2014 高纯三氧化二镓杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
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YS/T 980-2014标准状态
- 发布于：2014-10-14
- 实施于：2015-04-01
- *非实时更新以实际为准
YS/T 980-2014 高纯三氧化二镓杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
起草单位：峨嵋半导体材料研究所、南京中锗科技股份有限公司等
起草人：刘爱华、孙平 等