YS/T 936-2013 集成电路器件用镍钒合金靶材
起草单位：有研亿金新材料股份有限公司、北京有色金属研究总院等
起草人：董亭义、何金江 等
YS/T 936-2013 集成电路器件用镍钒合金靶材
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YS/T 936-2013标准状态
- 发布于：2013-10-17
- 实施于：2014-03-01
- *非实时更新以实际为准
YS/T 936-2013 集成电路器件用镍钒合金靶材
起草单位：有研亿金新材料股份有限公司、北京有色金属研究总院等
起草人：董亭义、何金江 等