JB/T 4081-2011 真空技术 溅射离子泵
起草单位：北京中科科仪技术发展有限公司、沈阳真空技术研究所
起草人：朱国精、邹蒙 等
JB/T 4081-2011 真空技术 溅射离子泵
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JB/T 4081-2011标准状态
- 发布于：2011-12-20
- 实施于：2012-04-01
- *非实时更新以实际为准
JB/T 4081-2011 真空技术 溅射离子泵
起草单位：北京中科科仪技术发展有限公司、沈阳真空技术研究所
起草人：朱国精、邹蒙 等