本文件适用于六氯乙硅烷中三氯氢硅、四氯化硅、六氯乙硅烷及其他组分含量的测定,各组分的测定范围(质量分数)为不小于0.001%。
YS/T 1434-2021 六氯乙硅烷组分含量的测定 气相色谱法
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