内容简要 本标准规定了半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价（以下简称“评价”）的原则、方法、指标体系及要求、程序等。本标准适用于对具有晶圆大小为8英寸或12英寸的半导体集成电路晶圆产…
T/CESA 1081-2020 半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价要求
主要起草人：李胡升、马传辉、洪洋、杨檬、杨宇涛、阳平、宋英华、闻洪春、赵立华、刘果果、黄明燕、赵丽华
起草单位：中国电子技术标准化研究院、北京赛西认证有限责任公司、中芯北方集成电路制造（北京）有限公司、中国电子信息产业发展研究院、中芯国际集成电路制造(天津)有限公司、施耐德电气（中国）有限公司上海分公司