内容简要 本文件规定了ArF浸没式光刻胶的要求、试验方法、检测标准及包装、运输、存储。…
T/ICMTIA 5.2-2020 集成电路用ArF浸没式光刻胶
主要起草人：许从应、毛智彪、马潇、顾大公、陈伟琴、李珊珊
起草单位：宁波南大光电材料有限公司
范围：本文件适用于集成电路用ArF浸没式光刻胶。
T/ICMTIA 5.2-2020 集成电路用ArF浸没式光刻胶
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T/ICMTIA 5.2-2020标准状态
- 发布于：2020-12-31
- 实施于：2021-03-01
- *非实时更新以实际为准