内容简要 本文件规定了超快激光精密微纳加工设备的主要技术参数、技术要求、安全与防护、精度检验、检验方法、检验规则及标志、包装、运输与储存。本文件适用于超快激光精密微纳加工设备的研制、生产…
T/JGXH 005-2020 超快激光精密微纳加工设备
主要起草人：王建刚、库东峰、王雪辉、陈航、周小庄、冯新康、李婷、朱熠、汪川、雷龙、李煜、刘玉敏、谈玉、王兰
起草单位：武汉华工激光工程有限责任公司、武汉市标准化研究院
范围：本文件规定了超快激光精密微纳加工设备的主要技术参数、技术要求、安全与防护、精度检验、检验方法、检验规则及标志、包装、运输与储存。本文件适用于超快激光精密微纳加工设备的研制、生产和交付。