内容简要 本文件规定了汽车MEMS压力传感器灌封工艺的仿真信息，包含了汽车MEMS压力传感器灌封工艺仿真的基本流程：仿真模型构建、仿真运行分析、结果评价与工艺优化等。本文件用于指导汽车M…
T/NLIA 002-2021 汽车MEMS压力传感器灌封工艺仿真规范
主要起草人：李辉，张云帆，刘胜，申胜男，曹万，孙彬，吴巍，李新宇，文龙，姜静，许瑨，冷斌，吴丹，邓明星等。
起草单位：武汉大学，武汉飞恩微电子有限公司，上达电子（深圳）有限公司，武汉华工激光工程有限责任公司，华中科技大学，中国地质大学（武汉），武汉华工赛百数据系统有限公司，深圳优艾智合机器人科技有限公司，深圳市诚亿自动化科技有限公司，深圳技术大学，武汉科技大学。