内容简要 本文件规定了无纺布/聚氨酯复合抛光垫（以下简称抛光垫）的分类、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本文件适用于抛光垫，用于硅晶片、LCD基片及玻璃面板，蓝宝石衬底…
T/SHXCL 0004-2021 无纺布/聚氨酯复合抛光垫
主要起草人：张泽芳等
起草单位：上海映智研磨材料有限公司等
T/SHXCL 0004-2021 无纺布/聚氨酯复合抛光垫
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T/SHXCL 0004-2021标准状态
- 发布于：2021-04-12
- 实施于：2021-05-30
- *非实时更新以实际为准