内容简要 本文件界定了半导体单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义，并规定了尺寸偏差、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存。本文件适用于以高纯石英砂（成份：二氧化硅）为原料，采…
T/CEMIA 023-2021 半导体单晶硅生长用石英坩埚
主要起草人：何文兵、陈曼、苏光都、杜兴林、李宗辉、王文庆、朱旦、李晓航、朱剑、徐晓军、 王君伟、王慧、韩东、李秀英、钱宜刚、贾建亮、万鹏远、潘志华、杨军、周锐
起草单位：内蒙古欧晶科技股份有限公司、锦州佑鑫石英科技有限公司、江西中昱新材料科技有限公司、宁波宝斯达坩埚保温制品有限公司、常州裕能石英科技有限公司、江阴龙源石英制品有限公司、江苏中天科技股份有限公司、北京雅博石光照明器材有限公司、隆基绿能科技股份有限公司、廊坊赫尔劳斯太阳能光伏有限公司、湖南黎辉新材料科技有限公司、中国建筑材料科学研究总院有限公司。
范围：本文件界定了半导体单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义， 并规定了尺寸偏差、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存。 本文件适用于以高纯石英砂（成份：二氧化硅）为原料，采用电弧熔融法生产，用于半导体单晶硅生长用石英坩埚。