内容简要 第3章 术语、定义和缩略语为便于对标准的理解与执行，本章给出了光学真空腔体洁净度分压术语和定义和部分缩略语。第4章真空腔体污染物本章主要给出了光学真空腔体污染物的类型，包括油脂…
T/CATSI 09010-2021 光学真空腔体洁净度检测规范
主要起草人：赵家瑞、马文君、颜学庆、朱昆、林晨、赵研英、袁忠喜、徐圣宣、耿易星、牛化瑞、陈式有、高营、寿寅任、王科栋、陈黎明、陈民、王贵毅、许坚、张殿伟、杨大荥、李昂、莫一心
起草单位：北京大学、广东省新兴激光等离子体技术研究院、上海交通大学、北京世华尖锋科技有限公司、埃地沃兹贸易（上海）有限公司、北京中凯威科技发展有限责任公司、北京欣瑞拓科技有限公司、上海米雾环保技术有限公司、北京锐德康科技有限公司