内容简要 本文件规定了旋转硅靶材的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规格、和标志、包装、运输、贮存等方面的内容。其中技术要求包括基本要求、材质、化学成分、物理性能、物理规格、外观质量、…
T/NXCL 004-2021 旋转硅靶材
主要起草人：盛之林、杨少林、罗学涛、盛旺、范占军、安百俊、黄柳青、卢辉、吴建栋、陆有军、郭生伟、高忙忙、顾燕滨、姜永庆、王黎光、芮阳、姜大川、郭校亮
起草单位：北方民族大学、厦门大学、宁夏高创特能源科技有限公司、宁夏大学、宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司、宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司、大工（青岛）新能源材料技木研究院有限公司