T/ZZB 3539-2023 单晶硅棒磨倒一体机

内容简要 本文件规定了单晶硅棒磨倒一体机的基本参数、规格和型号、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存及质量承诺。本文件适用于加工边距尺寸为156…

T/ZZB 3539-2023 单晶硅棒磨倒一体机

主要起草人：苏静洪、裴忠、张钦亮、朱勤超、吴张琪、陶施家、戴建良、韩鸣明、张佳斌、王涛、朱一豪、何振卫、周振峰、王锐。

起草单位：天通日进精密技术有限公司、嘉兴学院、嘉兴嘉麟智能科技有限公司。