内容简要 1 范围本规范适用于电子密度范围1012m-3~1018m-3，电子温度范围1eV~10eV的低温等离子体朗缪尔单探针等离子体测试仪（下文简称等离子体测试仪）的校准。2 引用文…
T/BEA 43002-2023 朗缪尔单探针等离子体测试仪校准规范
主要起草人：邓星亮
起草单位：北京东方计量测试研究所
T/BEA 43002-2023 朗缪尔单探针等离子体测试仪校准规范
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T/BEA 43002-2023标准状态
- 发布于：2023-02-20
- 实施于：2023-04-19
- *非实时更新以实际为准