内容简要 1范围1.1主题内容本规范规定了微波ECR等离子体发生器的计量特性、校准条件、校准项目、校准方法、校准结果的处理。1.2适用范围本标准适用于真空环境下使用的新制造（或新购置）和…
T/BEA 40002-2022 微波ECR等离子体发生器校准规范
主要起草人：贾军伟、邓星亮、柴昊、刘民、武宇婧
起草单位：北京东方计量测试研究所
范围：本标准适用于真空环境下使用的新制造（或新购置）和修理后的微波ECR等离子体发生器等离子体参数的校准和周期性校准。
T/BEA 40002-2022 微波ECR等离子体发生器校准规范
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T/BEA 40002-2022标准状态
- 发布于：2022-01-18
- 实施于：2022-02-09
- *非实时更新以实际为准