内容简要 表面微纳结构展现出许多独特的光电磁等特性，已在许多领域得到了广泛的应用。随着表面科学与工程技术的快速发展，人们对表面结构的复杂性、多级次性、大面积等提出了愈来愈高的要求，这对现…
T/BSPT 001-2018 微纳加工 基于激光诱导应变的大面积表面三维微纳结构加工方法
主要起草人：刘前、张浩然、郭传飞、葛广路
起草单位：国家纳米科学中心，南方科技大学
范围：本标准规定了基于激光诱导应变的大面积表面三维微纳结构加工方法。本标准适用于在晶元级表面上，利用激光诱导调控多层膜体系的应变结构，设计并制备各种表面三维微纳结构。