T/ICMTIA 1-2019 集成电路材料产业技术创新联盟气体基础规范

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内容简要本标准规范了集成电路用气体的检测方法及检验报告的制作，包装与存储要求、安全和环保要求，以及生产过程的基础管理要求等。…

主要起草人：郑秋艳，李翔宇，丁成，孙江涛，计燕秋，孙建。

起草单位：中国船舶重工集团公司第七一八研究所，江苏南大光电材料股份有限公司，大连保税区科利德化工科技开发有限公司。

范围：本标准规范了集成电路制造用气体的生产、研发和使用的管理要求及相关测试程序，是气体生产管理和使用的指南。