国家标准 硅外延层晶体完整性检查方法 腐蚀法
GB/T 14142-1993 硅外延层晶体完整性检查方法 腐蚀法
起草单位：峨眉半导体材料研究所。
GB/T 14142─1993 硅外延层晶体完整性检查方法 腐蚀法
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GB/T 14142-1993标准状态
- 发布于：1993-02-06
- 实施于：1993-10-01
- *非实时更新以实际为准
国家标准 硅外延层晶体完整性检查方法 腐蚀法
GB/T 14142-1993 硅外延层晶体完整性检查方法 腐蚀法
起草单位：峨眉半导体材料研究所。