国家标准 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则
GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则
起草单位：中国科学院微电子中心。
GB/T 16880─1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则
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GB/T 16880-1997标准状态
- 发布于：1997-06-20
- 实施于：1998-03-01
- *非实时更新以实际为准
国家标准 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则
GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则
起草单位：中国科学院微电子中心。