国家标准 掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则
GB/T 16879-1997 掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则
起草单位：中国科学院微电子中心。
GB/T 16879─1997 掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则
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GB/T 16879-1997标准状态
- 发布于：1997-06-20
- 实施于：1998-03-01
- *非实时更新以实际为准
国家标准 掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则
GB/T 16879-1997 掩模曝光系统精密度和准确度的表示准则
起草单位：中国科学院微电子中心。