国家标准 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
GB/T 1557-2006 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
起草单位:峨眉半导体材料厂。
起草人:梁洪 、覃锐兵 、王炎 。
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