国家标准 酸浸取 电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质
GB/T 24582-2009 酸浸取 电感耦合等离子质谱仪测定多晶硅表面金属杂质
起草单位:新光硅业科技责任有限公司。
起草人:王波 、过惠芬 、吴道荣 、梁洪 、敖细平 。
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