国家标准 电子工业用气体 硅烷（SiH4）
GB/T 15909-2009 电子工业用气体 硅烷（SiH4）
起草单位：浙江大学材化学院半导体材料研究所、西南化工研究设计院。
起草人：余京松 、周鹏云 。
GB/T 15909─2009 电子工业用气体 硅烷（SiH4）
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GB/T 15909-2009标准状态
- 发布于：2009-10-30
- 实施于：2010-05-01
- *非实时更新以实际为准
国家标准 电子工业用气体 硅烷（SiH4）
GB/T 15909-2009 电子工业用气体 硅烷（SiH4）
起草单位：浙江大学材化学院半导体材料研究所、西南化工研究设计院。
起草人：余京松 、周鹏云 。