国家标准 半导体材料术语
GB/T 14264-2009 半导体材料术语
起草单位：中国有色金属工业标准计量质量研究所、有研半导体材料股份有限公司、杭州海纳半导体有限公司、国瑞电子材料有限责任公司等。
起草人：孙燕 、黄笑容 、向磊 、翟富义 、卢立延 、郑琪等 。
GB/T 14264─2009 半导体材料术语
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GB/T 14264-2009标准状态
- 发布于：2009-10-30
- 实施于：2010-06-01
- *非实时更新以实际为准