国家标准 微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则
GB/T 26113-2010 微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则
起草单位：中机生产力促进中心、西安交通大学、天津大学、中原工学院。
起草人：丁红宇 、张苹 、刘伟 、蒋庄德 、景蔚萱等 。
GB/T 26113─2010 微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则
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GB/T 26113-2010标准状态
- 发布于：2011-01-10
- 实施于：2011-10-01
- *非实时更新以实际为准