国家标准 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
GB/T 14847-2010 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
起草单位：宁波立立电子股份有限公司、信息产业部专用材料质量监督检验中心。
起草人：李慎重 、何良恩 、许峰 、刘培东 、何秀坤 。
GB/T 14847─2010 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
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GB/T 14847-2010标准状态
- 发布于：2011-01-10
- 实施于：2011-10-01
- *非实时更新以实际为准