国家标准 300mm 硅单晶抛光片
GB/T 29506-2013 300mm 硅单晶抛光片
起草单位:有研半导体材料股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所。
起草人:闫志瑞 、孙燕 、盛方毓 、卢立延 、张果虎 、向磊 。
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