GB/T 13389─2014 掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程

国家标准 掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程

GB/T 13389-2014 掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程

起草单位：有研半导体材料股份有限公司、四川新光硅业科技有限责任公司、中国计量科学研究院、浙江省硅材料质量检验中心、杭州海纳半导体有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、西安隆基硅材料股份有限公司。

起草人：孙燕 、梁洪 、高英 、楼春兰 、张静 、王飞尧等 。