GB/T 32280─2015 硅片翘曲度测试 自动非接触扫描法

国家标准 硅片翘曲度测试 自动非接触扫描法

GB/T 32280-2015 硅片翘曲度测试 自动非接触扫描法

起草单位：有研半导体材料股份有限公司、上海合晶硅材料有限公司、杭州海纳半导体有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、浙江省硅材料质量检验中心、东莞市华源光电科技有限公司。

起草人：孙燕 、何宇 、徐新华 、王飞尧 、张海英 、楼春兰 、向兴龙 。