国家标准 硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法
GB/T 24578-2015 硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法
起草单位：有研新材料股份有限公司、万向硅峰电子股份有限公司、浙江省硅材料质量检验中心。
起草人：孙燕 、李俊峰 、楼春兰 、潘紫龙 、朱兴萍 。
GB/T 24578─2015 硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法
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GB/T 24578-2015标准状态
- 发布于：2015-12-10
- 实施于：2017-01-01
- *非实时更新以实际为准