国家标准 氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法
GB/T 32189-2015 氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法
起草单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司。
起草人：刘争晖 、钟海舰 、徐耿钊 、樊英民 、邱永鑫 、曾雄辉 、王建峰 、徐科 。
GB/T 32189─2015 氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法
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GB/T 32189-2015标准状态
- 发布于：2015-12-10
- 实施于：2016-11-01
- *非实时更新以实际为准