GB/T 42191-2023 MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法

此标准描述了 MEMS 压阻式压力敏感器件试验条件和试验方法。

此标准适用于 MEMS 压阻式压力敏感器件。

GB/T 42191-2023 MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法

起草单位：北京大学、中机生产力促进中心有限公司、北京智芯传感科技有限公司、昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司、厦门光莆电子股份有限公司、江门市润宇传感器科技有限公司、宁波志伦电子有限公司、广州奥松电子股份有限公司、华东光电集成器件研究所、深圳市美思先端电子有限公司、南京高华科技股份有限公司、中国科学院微电子研究所、湖南国天电子科技有限公司、南京沃天科技股份有限公司、广州广电计量检测股份有限公司、武汉飞恩微电子有限公司、深圳安培龙科技股份有限公司、昆山传感器测控技术有限公司。

起草人：张威 、顾枫 、李根梓 、陈广忠 、李宋 、张亚婷 、张良 、陈立国 、林瑞梅 、李树成 、茅曙 、张宾 、王鹏 、李晓波 、许宙 、王玮冰 、陈路 、高峰 、明志茂 、曹万 、陈君杰 、王冰 。