GB/T 33523.603-2022 产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第603部分：非接触（相移干涉显微）式仪器的标称特性

此标准规定了相移干涉法（PS）轮廓和区域表面结构测量显微镜的计量特性。

GB/T 33523.603-2022 产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第603部分：非接触（相移干涉显微）式仪器的标称特性

起草单位：清华大学、山东大学、深圳市中图仪器股份有限公司、哈尔滨工业大学、中机生产力促进中心有限公司、中国计量科学研究院、广州计量检测技术研究院、中机研标准技术研究院（北京）有限公司。

起草人：尉昊赟 、闫鹏 、马俊杰 、刘俭 、施玉书 、代鲲鹏 、朱悦 。