此标准描述了氮化铝单晶中痕量镁和镓含量及分布的二次离子质谱测试方法。
此标准适用于氮化铝单晶中痕量镁和镓含量及分布的定量测定，测定范围为镁、镓的含量均不小于1×1016cm-3，元素含量（原子个数百分比）不大于1%。
GB/T 42274-2022 氮化铝材料中痕量元素（镁、镓）含量及分布的测定 二次离子质谱法
起草单位：北京科技大学、中国科学院半导体研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司、中国科学院青海盐湖研究所、青海圣诺光电科技有限公司。
起草人：齐俊杰 、魏学成 、闫丹 、李素青 、卫喆 、胡超胜 、李志超 、许磊 、王军喜 、李晋闽 、魏明 、刘江华 、张成荣 。