GB/T 42263-2022 硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法

此标准描述了硅单晶中氮含量的二次离子质谱测试方法。

此标准适用于硼、锑、砷、磷的掺杂浓度小于1×1020cm-3（0.2%）的硅单晶中氮含量的测定，测定范围不小于1×1014cm-3。

GB/T 42263-2022 硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法

起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司。

起草人：马农农 、何友琴 、李素青 、陈潇 、刘立娜 、何烜坤 。