GB/T 41652-2022 刻蚀机用硅电极及硅环

此标准规定了刻蚀机用硅电极及硅环的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和随行文件以及订货单内容。

此标准适用于p拉硅单晶加工成的刻蚀机用直径200mm~450mm的硅电极及硅环。

GB/T 41652-2022 刻蚀机用硅电极及硅环

起草单位：有研半导体硅材料股份公司、山东有研半导体材料有限公司、新美光（苏州）半导体科技有限公司、浙江海纳半导体有限公司。

起草人：库黎明 、孙燕 、闫志瑞 、张果虎 、夏秋良 、潘金平 。