适用于半导体设备制造信息标识
SJ/T 11762-2020 半导体设备制造信息标识要求
起草单位:中国电子技术标准化研究院、北京七星华创电子股份有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司等
起草人:冯亚彬、程朝阳、钟华 等
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