本标准适用于化学气相沉积。
YS/T 1031-2015 化学气相沉积炉
起草单位：湖南顶立科技有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所等
起草人：戴煜、 胡祥龙、 胡高健等
YS/T 1031-2015 化学气相沉积炉
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YS/T 1031-2015标准状态
- 发布于：2015-04-30
- 实施于：2015-10-01
- *非实时更新以实际为准
本标准适用于化学气相沉积。
YS/T 1031-2015 化学气相沉积炉
起草单位：湖南顶立科技有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所等
起草人：戴煜、 胡祥龙、 胡高健等