本标准适用于硅单晶抛光片、外延片、SOI等硅片的洁净包装、硅单晶研磨片(简称硅研磨片)包装和太阳能电池用硅片包装，使其在运输、贮存过程中避免再次沾污和破碎。
YS/T 28-2015 硅片包装
起草单位：杭州海纳半导体有限公司、有研新材料股份有限公司、南京国盛电子有限公司等
起草人：王飞尧、孙燕、马林宝等
YS/T 28-2015 硅片包装
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YS/T 28-2015标准状态
- 发布于：2015-04-30
- 实施于：2015-10-01
- *非实时更新以实际为准