本标准适用于外延层和扩散层与衬底导电类型不同或两层电阻率相差至少一个数量级的任意电阻率的硅外延层和扩散层厚度的测量，测量范围：1μm～100μm。
YS/T 15-2015 硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法
起草单位：南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司
起草人：马林宝、杨帆、葛华等
YS/T 15-2015 硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法
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YS/T 15-2015标准状态
- 发布于：2015-04-30
- 实施于：2015-10-01
- *非实时更新以实际为准