SJ/T 11502-2015 碳化硅单晶抛光片规范
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京天科合达蓝光半导体有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院等
起草人：丁丽、郑红军、蔺娴 等
SJ/T 11502-2015 碳化硅单晶抛光片规范
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SJ/T 11502-2015标准状态
- 发布于：2015-04-30
- 实施于：2015-10-01
- *非实时更新以实际为准
SJ/T 11502-2015 碳化硅单晶抛光片规范
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京天科合达蓝光半导体有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院等
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