内容简要 本文件规定了ArF光刻胶的光刻检测要求及方法、检测标准及包装、运输、存储及环保要求。…
T/ICMTIA 5.3-2020 集成电路用ArF光刻胶光刻检测方法
主要起草人：许从应、毛智彪、马潇、顾大公、李珊珊
起草单位：宁波南大光电材料有限公司
范围：本文件适用于集成电路用ArF光刻胶。
T/ICMTIA 5.3-2020 集成电路用ArF光刻胶光刻检测方法
T/ICMTIA 5.3-2020 下载需要10金币，升级会员免费下载。
T/ICMTIA 5.3-2020标准状态
- 发布于：2020-12-31
- 实施于：2021-03-01
- *非实时更新以实际为准