内容简要 1范围、2规范性引用文件、3术语和定义、4原理、5测试设备、6样品、7测试程序、8测试结果评定、9测试报告。…
T/XAI 12-2021 覆晶薄膜基板电气检查测试方法
主要起草人：刘明寒、计晓东、陆文、王健、杨洁、孙彬、李辉、盛家正、陈鹏、孟庆才。
起草单位：江苏上达半导体有限公司、武汉大学、江苏华商企业管理咨询服务有限公司。
范围：本文件规定了覆晶薄膜基板电气测试原理、测试条件、测试方法、测试结果评定和测试报告等要求，描述了电气检查测试过程，给出了测试结果要求。本文件适用于覆晶薄膜基板的电气检查。